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超精加工利用装在振动头上的细粒度油石对精加工表面进行的精整加工(见切削加工)。超精加工一般安排在精磨工序后进行,其加工余量仅几微米,适于加工曲轴、轧辊、轴承环和各种精密零件的外圆、内圆、平面、沟道表面和球面等。

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超精加工特点:
①超精加工是利用装在振动头上的细磨粒油石对工件进行微量切削的一种磨料精密加工方法。
②超精加工主要是减小Ra值,可达0.2~0.012μm,可适当提高形状精度。
③超精加工生产率很高,常用于加工曲轴、轧辊、轴承环和某些精密零件的外圆、内圆、平面、沟道表面和球面等。
超精密加工就是在超精密机床设备上,利用零件与刀具之间产生的具有严格的约束的相对运动,对材料进行微量切削,以获得极高形状精度和表面光洁度的加工过程。其精度从微米到亚微米,乃至纳米,其应用范围日趋广泛,在高技术领域和军用工业以及民用工业中都有广泛应用,尤其是电气自动化领域,如超大规模集成电路,高精度磁盘,精密雷达,导弹火控系统,精密机床,精密仪器,录像机磁头,复印机磁鼓,煤气灶转阀等都要采用超精密加工技术。它与当代一些主要科学技术的发展有密切的联系,是当代科学发展的一个重要环节;而且超精密加工技术的发展也促进了机械,液压,电子,半导体,光学,传感器和测量技术以及材料科学的发展。

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