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精密加工不是指加工精度。超精密加工方法是一种精度极高的综合性的现代加工方法。所谓精密加工,其加工精度可达10纳米(0.01微米),表面粗糙度达1纳米,加工的最小尺寸为1微米。这是从20世纪60年代开始发展起来的一个高新技术群。

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