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精密机械加工是适应现代技术发展的一种机械加工新工艺,综合应用了机械技术发展的新成果及现代电子技术、测量技术和计算机技术中先进的控制、测试手段等,使机械加工的精度得到进一步提高,使加工的极限精度向纳米和亚纳米精度发展。超精密机械加工的方法很多有切削、磨削等等。其中超精密切削技术是使用精密的单晶天然金刚石道具加工有色金属和非金属。超精加工的分类有去除加工、结合加工、变形加工。超精密机械加工技术是衡量一个国家先进制造技术水平的重要指标之一,是先进制造技术的基础和关键。在目前,在工业发达国家中,一般工厂能稳定掌握的加工精度是1μm。超精密机械加工技术的指标为精密加工精度为 1—0.1μm,表面粗糙度值为:Ra0.3-0.03μm; 超精密加工精度为0.1-0.01μ m表面粗糙度值为Ra0.03-0.005μm, 又称亚微米加工;(1微米=0.001mm),纳米加工精度高于 0.03 μ m, 表面粗糙度值小于 Ra 0.005μ m。 超精密机械加工技术提高制造精度后可提高产品的性能和质量,提高其稳定性和可靠性;促进产品的小型化;增强零件的互换性,提高装配生产率,并促进自动化装配。精密和超精密加工目前包含三个领域。实现超精密加工的方法主要有:超精密切削,如超精密金刚石刀具镜面车削、镗削和铣削等;超精密磨削、研磨和抛光;超精密微细加工(电子束、离子束、激光束加工以及硅微器件的加工、LIGA技术等)。

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